HIGHPURE PRECISION MATERIALS (SUZHOU) CO.,LTD.
海朴精密材料(苏州)有限责任公司
超高纯特种材料制品供应商
高纯超高纯材料技术引领者

高致密度:密度可达99.95%

高均匀性,使用过程中每一层均匀一致

       高纯度乃至超高纯度的金属材料是生产高纯溅射靶材的基础。以半导体芯片用溅射靶材为例,若溅射靶材的杂质含量过高,会导致形成的薄膜无法达到所要求的电性能,并且在溅射过程中易在晶圆上形成微粒,导致电路短路或损坏,严重影响薄膜的性能,进而影响芯片的质量及产量。

技术优势

全球首创,自主研发HTHP-CVD提纯技术,突破传统工艺的瓶颈


海朴高纯钨

Hppm High-Purity Tungsten​

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制造周期短

高纯度:纯度达到8N

海朴高纯钨靶坯料具有超高纯度、高致密度、高均匀性,可保障晶圆良品率
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海朴化学气相沉积技术生产钨靶坯(CVD W)与传统粉末冶金工艺生产钨靶坯(PM W)对比,生产周期短,但产品纯度、致密度更高,且在实际运用中表现稳定良好
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