HIGHPURE PRECISION MATERIALS (SUZHOU) CO.,LTD.
海朴精密材料(苏州)有限责任公司
超高纯特种材料制品供应商
高纯超高纯材料技术引领者
返回产品中心

高纯度乃至超高纯度的金属材料是生产高纯溅射靶材的基础。以半导体芯片用溅射靶材为例,若溅射靶材的杂质含量过高,会导致形成的薄膜无法达到所要求的电性能,并且在溅射过程中易在晶圆上形成微粒,导致电路短路或损坏,严重影响薄膜的性能,进而影响芯片的质量及产量。

海朴精材自主研发的HTHP-CVD提纯技术,突破了传统工艺的瓶颈,生产出来的钨靶坯(CVD W)与传统粉末冶金工艺生产钨靶坯(PM W)对比,生产周期短,但产品纯度、致密度更高,且在实际运用中表现稳定良好

海朴高纯钨靶坯料具有超高纯度、高致密度、高均匀性,可保障晶圆良品率。

%

超高纯钨靶材坯料


%

制造周期短

高纯度:纯度达到8N

高致密度:密度可达99.95%

异型钨制品

高均匀性,使用过程中每一层均匀一致

12寸机台用高纯钨靶

8寸机台用高纯钨靶

高纯钨靶坯